购买约瑟夫森结镀膜机的要点是什么?
- 2022-03-02-
购买约瑟夫森结镀膜机的要点是什么?
1、超高真空系统,本底真空越高越好。
2、多腔室(Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation)整机系统的超高真空互联兼容性。
3、多种薄膜生长工艺的系统设计兼容性和沉积薄膜的质量控制(均匀性、表/界面缺陷)。
4、晶圆转移过程的系统设计和稳定性。
5、整机设备的自动化操作系统设计。
以上就是小编今日为大家介绍的购买约瑟夫森结镀膜机的要点,感谢大家耐心的阅读!
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