团簇式沉积设备应用

Cluster集群式半导体工艺系统，可集成PVD /PECVD /Etch /ALD/Plasma Clean / Annealing等工艺模块,支持8-10个工位，稳定的高精度真空机械手臂，使基片在各腔室之间的高效传输。适用于工艺实验研究、批量器件的制备等。

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