电子束蒸发镀膜机知识点介绍

仪器结构：

它主要由主机、控制系统、真空路等组成。

1.主机：包括电压源、电子枪、坩埚等；

2.控制系统：工艺控制、温控等系统；

3.真空气路系统：将初空泵和低温真空泵结合使用，使设备腔达到高真空状态，满足真空蒸发工艺的要求。

工作原理：

   电子束蒸发镀膜机是实现蒸发过程的关键设备。抽真空蒸发室到真空状态(一般是10-6tor)的级真空泵，电子束蒸发镀膜机是利用高温灯丝产生的中高能电子束，采用电子束扫描器控制高能量电子束轰击蒸发源坩埚(水冷)材料，快速熔解材料达到蒸发温度，形成物质的蒸汽云。将坩埚底部的蒸气云在真空中凝结成一层薄膜。

仪器特点

1.目标几乎涵盖所有无机材料。

2.蒸发率高。

3.均匀性好。

4.高熔点材料可镀。

电子束蒸发镀膜机应用场景

  钛、铝、铂、镍、铜、钨等金属薄膜材料。其主要应用领域有半导体集成电路芯片制造、无线通讯芯片制造、微机电系统芯片制造、光通信芯片制造、半导体激光芯片制造、先进的纳米设备制造等。

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