北京时代天启真空科技有限公司
地址:北京市朝阳区天朗园C座3层丰收孵化器产业园
联系人:张经理
电话:15010907160
邮箱:alexzhang@timestorch.com.cn
河北工厂:(真空部件定制加工)
地址:河北省涿州市松高路念瞳村厂房
v 功能特点
用于超导量子实验室制备超导结(量子比特和约瑟夫森结)和量子器件,可以制备大面积、高稳定性和可重复性超导结。
ü 四腔室超高真空系统
ü 进样室(LoadLock,预处理)
ü 离子铣室(Ion Milling Chamber)
ü 电子束蒸发室(E-beam Chamber)
ü 氧化室(OXIDATION Chamber)
ü 超高真空传输系统(UHV Tunnel integration system)
离子束刻蚀机
激光直写光刻机
电子束蒸发镀膜机
团簇式沉积设备
原子层沉积设备