电子束蒸发镀膜机

v  功能特点

ü  矩形SS316L电抛光，内腔屏蔽

ü  本底真空5E-7Torr或5E-10Torr

ü  UHV真空泵和真空计

ü  6 x 3寸行星样品操作台（公、自转）

ü  石英红外线灯，样品加热温度300°C

ü  多个坩埚电子束蒸发源

ü  膜厚监测仪

ü  FBBeam系统控制软件