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脉冲激光沉积

脉冲激光沉积

产品详情

v  功能特点

ü   本底真空5E-10Torr

ü   配置REHEED系统

ü   4轴加热样品台,可旋转、XYZ方向均可移动

ü   手动或自动LoadLock上下片系统

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